Tlak unutar peći može se izvući u industrijsku peć ispod atmosferskog tlaka. Vakuumska peć koristi električno grijanje, a površina zagrijanog obratka ne oksidira, ne dekarburizira, manje se deformira i ima dobra mehanička svojstva. Taljenje metala u vakuumskoj peći korisno je za uklanjanje nečistoća, što rezultira manjim brojem rupica, manje segregacije i boljom kvalitetom gotovog proizvoda. Vakuumska peć je prikladna za topljenje i zagrijavanje visokokvalitetnih, visoko čistoći i vatrostalnih metala, kao što su volfram, molibden, tantal, niobij, titan, toplinski otporni legirani čelik za taljenje i magnetski materijali, električni materijali, visoke čvrstoće čelik, nehrđajući čelik, alatni čelik, kalupni čelik itd.
Vakuumske peći pojavile su se oko 1930-ih. Godine 1927. Sjedinjene Države proizvele su vakuumsku peć za žarenje električnih materijala. Godine 1953. u industriji je korištena vakuumska potrošna elektrolučna peć za taljenje spužvastog titana. Vakuumske indukcijske peći bile su široko korištene u industriji oko 1950-ih. Godine 1960. Sjedinjene Države razvile su vakuumsku peć za kaljenje ulja.
Vakuumska peć općenito se sastoji od peći, električnog uređaja za grijanje, zatvorenog omotača peći, vakuumskog sustava, sustava napajanja i sustava za kontrolu temperature. Zabrtvljena ljuska peći zavarena je ugljičnim čelikom ili nehrđajućim čelikom, a spojna površina odvojivih komponenti zapečaćena je materijalom za vakuumsko brtvljenje. Kako bi se spriječila deformacija plašta peći i propadanje materijala za brtvljenje nakon zagrijavanja, plašt peći se općenito hladi vodom ili zračnim hlađenjem. Peć je smještena unutar zatvorenog plašta peći. Ovisno o namjeni peći, unutar peći se ugrađuju različiti tipovi grijaćih tijela, kao što su otpornici, indukcijske zavojnice, elektrode i elektronski topovi. Vakuumska peć za taljenje metala opremljena je loncima u peći, a neki su opremljeni i uređajima za automatsko izlijevanje i mehaničkim rukama za utovar i istovar materijala. Vakuumski sustav se uglavnom sastoji od vakuumske pumpe, vakuumskog ventila i mjerača vakuuma.
Vakuumske peći se prema grijaćim elementima dijele na vakuumske otporne peći, vakuumske indukcijske peći, vakuumske lučne peći, vakuumske potrošne lučne peći, peći s elektronskim snopom (poznate i kao peći s elektronskim bombardiranjem) i plazma peći.